СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ СВЕРХТВЕРДОГО АМОРФНОГО УГЛЕРОДНОГО ПОКРЫТИЯ В ВАКУУМЕ

Изобретение относится к способам формирования сверхтвердых аморфных углеродных покрытий в вакууме и может быть использовано для улучшения эксплуатационных характеристик различных видов инструментов, применяемых для металлообработки, деталей узлов трения, а также в качестве сигнального покрытия, используемого для анализа степени износа. Согласно способу подложку помещают в вакуумную камеру, которую затем вакуумируют, поверхность подложки обрабатывают ускоренными ионами, затем наносят слой материала, обеспечивающего адгезию последующих слоев. При помощи импульсного потока углеродной плазмы из множества катодных пятен с коэффициентом абляции графитового катода в пределах от 70 до 140 мкг/Кл формируют сверхтвердое углеродное покрытие. Температуру подложки поддерживают в пределах от 200 до 450 K путем регулировки частоты следования импульсов электродугового разряда. При этом указанную величину коэффициента абляции обеспечивают величиной заряда емкостного накопителя. При необходимости величину коэффициента абляции изменяют в процессе нанесения углеродного покрытия пределах от 70 до 140 мкг/Кл. Технический результат - увеличение плотности, микротвердости, электрического сопротивления и термостойкости покрытия, уменьшение его поглощения в оптическом диапазоне.

Дата регистрации охранного документа:	10.10.2011
№ охранного документа:	2430986
Автор(ы):	Москвитин Александр Александрович (RU),, Маслов Анатолий Иванович (RU),, Колпаков Александр Яковлевич (RU),, Поплавский Александр Иосифович (RU)
№ заявки:	2009130532
Дата приоритета:	10.08.2009
Описание изобретения:	Перейти
Правообладатель:	ООО "СКИФ-М" (RU)
Охранный документ:	Загрузить