Войти
       
   
 
 
 
 
 
 

Навигация по разделу

Патенты на изобретения (И)
Патенты на полезные модели (ПМ)
Патенты на промышленные образцы (ПО)
Патенты на селекционные достижения (СД)
Свидетельства на товарные знаки (ТЗ)
Свидетельства о государственной регистрации программ для ЭВМ (ПЭ)
Свидетельства о государственной регистрации баз данных (БД)
Свидетельство о регистрации НОУ-ХАУ (НХ)

Контакты

308015, г.Белгород, ул.Победы, 85, корп.12, каб.4-9;
Региональный центр интеллектуальной собственности
Руководитель:
Токтарева Татьяна Михайловна,
патентный поверенный РФ
E-mail: rcis@bsu.edu.ru
Телефон: (4722) 30-10-37
Факс: (4722) 30-10-24
Проезд:
от ж/д вокзала м.т. №№ 2, 3, 13
от Автовокзала (Аэропорта) м.т. №№ 7, 8, 15, 17, 111
ост. «Свято-Троицкий бульвар» (Белгородский госуниверситет)

 

КАНТИЛЕВЕР С НАНОРАЗМЕРНЫМ АЛМАЗОПОДОБНЫМ УГЛЕРОДНЫМ ПОКРЫТИЕМ ДЛЯ ТОКОВОЙ НАНОЛИТОГРАФИИ

1. Кантилевер для токовой нанолитографии, представляющий собой основание, к которому прикреплена балка, на дальнем от основания конце которой расположена игла, с нанесенным на поверхность кантилевера алмазоподобным углеродным покрытием (DLC), а со стороны, обращенной к приемнику излучения, отражающим покрытием, отличающийся тем, что алмазоподобное углеродное покрытие нанесено на всю поверхность кантилевера и состоит, по крайней мере, из одного нелегированного и одного легированного азотом слоя, толщина каждого легированного и нелегированного слоя составляет от 15 до 50 нм, общая толщина наноразмерного алмазоподобного углеродного покрытия составляет 30-100 нм, при этом покрытие выполнено с возможностью регулирования электропроводности в пределах от 0,15 до 10 (1/Ом·см) за счет изменения толщины отдельных слоев. 2. Кантилевер для токовой нанолитографии по п. 1, отличающийся тем, что форма балки может быть выполнена как в прямоугольном, так и в V-образном виде.

Дата регистрации охранного документа:  10.01.2014
№ охранного документа:  136563
Автор(ы):  Колпаков Александр Яковлевич (RU),, Поплавский Александр Иосифович (RU),, Сафронова Ольга Вениаминовна (RU)
№ заявки:  2013143965
Дата приоритета:  30.09.2013
Описание изобретения:   Перейти   
Подразделение БелГУ:  НИЛ проблем разработки и внедрения ионно-плазменных технологий
Правообладатель:  ФГАОУ ВПО «Белгородский государственный национальный исследовательский университет»
Охранный документ:   Загрузить   
 

Горячие ссылки

Полезные ссылки